干膜曝光原理：开启微纳加工时代的关键技术 引言：干膜曝光的魅力 干膜曝光作为一种重要的微纳加工技术，已经在半导体、光电子、微机械等领域得到广泛应用。它以其高精度、高效率、低成本的特点，成为实现微纳加工的重要工具。本文将围绕干膜曝光原理展开详细阐述，带领读者一起探索这一技术的奥秘。 背景：微纳加工的需求与挑战 随着科技的发展，对微纳加工的需求越来越迫切。传统的光刻技术存在着昂贵的设备成本、复杂的工艺流程等问题，限制了其在大规模应用中的发展。干膜曝光作为一种新型的加工方法，正是为了解决这些问题而诞